采取第8代玻璃基板，也许完成1.5μm的分辩率和±0.35μm的套合精度
佳能将于年7月下旬发卖FPD（FlatPanelDisplay）暴光设置新品"MPAsp-HH"。做为撑持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD暴光设置新产物，"MPAsp-HH"占有1.5μm*2（L/S*3）的分辩率和±0.35μm的套合精度。
FPD暴光设置"MPAsp-HH"
比年来，跟着长途办公需求的激增与在线扶直的速即遍及，札记本电脑、平板电脑等IT设置所用显示器的需求也在继续延长。其它，由于电动汽车的遍及与主动驾驶技能的一直超过，更浮滑、高清上风的车载显示器估计也将迎来墟市需求的进一步延长。
即使在第6代玻璃基板*4上暂时曾经完成这种高清显示器面板的量产。从一片玻璃也许临盆出更多显示面板的观念动身，第8代玻璃基板的墟市需求也在一直添加。本次发卖的FPD暴光设置"MPAsp-HH"撑持了第8代玻璃基板，同时分身1.5μm的分辩率和±0.35μm的套合精度，有助于抬高运用在IT设置显示器上的面板的临盆效率。
第8代玻璃基板上完成1.5μm高分辩率
本次发卖的新产物因袭了针对第8代玻璃基板研发的FPD暴光设置"MPAsp-HT"（年10月推出）所搭载的投影光学系统，可完成对65英寸面板的一次暴光。其它，新产物还搭载了第6代玻璃基板的暴光设置"MPAsp-EH"（年9月推出）所行使的超分辩技能*5，该技能经考证，也许完成1.5μm的高分辩率。在多种技能加持下，新产物既也许知足IT显示器用面板的高分辩率需求，又也许完成大型显示器所需的最大65英寸无拼接式面板的建立。
分身高临盆性与高套合精度
颠末对趋于老练的高速载台技能的晋级和改革，并一直抬高了玻璃基板载台的机能，本次发卖的FPD暴光设置"MPAsp-HH"与上一代产物"MPAsp-HT"比拟，完成临盆效率约20%的提拔。其它，颠末分离"MPAsp-EH"中经实绩考证的定位方法和倍率订正机构，新产物可完成±0.35μm的套合精度，与上一代产物"MPAsp-HT"比拟抬高了约20%。
巩固百般建立工序的工艺对应能耐
新产物装备了包罗超分辩率技能照明形式的切换构件和波动暴光线宽的主动暴光狭缝调度（SIC）构件，加强了百般化建立工序的工艺对应能耐，供给了更波动的建立品质。
*1尺寸2,×2,mm的玻璃基板，暂时首要用于电视显示器的面板建立。
*21微米是1米的百万分之一（=千分之一毫米）。
*3LineandSpace和缩写。Line和Space平匀散布的图案。
*4尺寸1,×1,mm的玻璃基板，用于建立以智专家机为代表的中袖珍显示器面板。
*5管束光的相位和强度以抬高暴光安设分辩率的技能。
**为便利读者知道，本文中佳能可指代：佳能光学设置（上海）有限公司，佳能（华夏）有限公司，佳能股分有限公司，佳能品牌等
首要益处：
在第8代玻璃基板上完成1.5μm的高分辩率
与第8代玻璃基板的前辈暴光设置"MPAsp-HT"的2.0μm比拟，颠末采取第6代玻璃基板暴光设置"MPAsp-EH"中久经磨练的超分辩率技能，新产物更进一步完成了1.5μm的高分辩率的暴光。
新产物还因袭了第8代玻璃基板的暴光设置"MPAsp-HT"的广暴光视角，完成对65英寸面板的一次暴光。
分身高临盆率和高套合精度
与"MPAsp-HT"比拟，颠末改革高速载台技能，抬高玻璃基板载台的机能，新产物的临盆效率抬高了约20%。
新产物搭载了暴光设置"MPAsp-EH"中经实绩考证的倍率订正机构。对于在建立工序中构成多层时构成的基板形变，通太高精度订正启动来举办精确地套合暴光。
采取在暴光设置"MPAsp-EH"中经实绩考证的定位方法，新产物颠末对每块面板举办多点同时衡量，在不低沉临盆效率的环境下有用抬高衡量精度，完成±0.35μm的套合精度。
巩固百般建立工序的工艺对应能耐
新产物的照明形式也许按照需求暴光的图案举办切换，从而适配百般建立工序的暴光。颠末光学元件的不同组合，也许从恰当反复类图案的"Annular形式"、恰当孤立类图案的"Conventional2形式"和恰当需求高照度的图案的"Conventional3形式"中举办筛选。
在构成圆弧光的机构中，新产物装备有暴光狭缝主动调度机构（SIC：SlitIlluminanceControl）。颠末主动管束光线颠末的狭缝宽度，也许变换暴光光线的强度散布，从而完成波动的暴光线宽。
对于佳能FPD暴光设置的办事机制
佳能的FPD暴光设置采取镜面投影方法。镜面投影单位由大凹透镜、小凸面镜和梯形镜构成。颠末将光映照在单位上方的光掩模上，光掩模上的电路图案就也许在颠末5次反射后精确地转印在玻璃基板上。约1μm（1mm的千分之一）的精致电路图案转印到大型玻璃基板上时，凹透镜格外关键。暂时惟独兼具顶端光学技能和临盆技能的佳能能耐研产临盆直径约1.5米的大型凹透镜。
佳能的暴光方法在光学上具备完好对称的布局，益处是在道理上不会构成因斜射光引发的彗形像差（渗光），也不会因行使镜头的折射光学系统引发光的波长不同从而致使色差（色偏）。在圆弧形的领域内有着最好成像特点，再颠末扫描该圆弧形的暴光地区便可完成大面积高分辩率机能。
教程举荐文章起原影象狗；